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大行程移动平台设计

2024-03-17(928)次浏览

  大行程移动平台设计不仅适用于相应尺寸的晶圆及 FPD 检测,而且可用于小尺寸样品...

大行程移动平台设计

不仅适用于相应尺寸的晶圆及 FPD 检测,而且可用于小尺寸样品的阵列检测。6英寸三层机械移动平台,反射照明移动范围158mmx158mm,透射照明移动范围100mmx100mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。


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